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        冷陰極電離真空規

        INFICON被動冷陰極測量儀MAG470,測量范圍為5 × 10 -11mbar到1 × 10 -2mbar  

        (3.8 × 10 -11 Torr to 7.5 × 10 -3 Torr).

        優勢

        · 沒有燒壞的燈絲

        · 加長版,傳感器輸出溫度可達250°C

        · 優異的點火性能

        · 易清洗

        · 金屬密封通道

        · LED高電壓指示燈

        · 對數模擬輸出信號

        應用

        · 超高真空壓力監測

        · 蒸發和濺射系統的基本壓力

        · 中高真空范圍內的通用真空測量與控制

        訂貨信息

        類型

        MAG470

        MAG470擴展

        DN 40 CF-F
        399-360

        399-361

        備件
        MAG470

        MAG470擴展

        維修工具包包括:

        支撐/定心環
        密封點
        助燃劑
        351-997

        351-997
        修理工具包括:
        陽極
        銅密封
        螺紋接頭
        支撐/定心環
        密封點
        助燃劑
        351-990
        351-990
        點火輔助套件包括:
        助燃劑
        351-995

        351-995

        點火輔助裝置的安裝工具
        351-994

        351-994

        附件
        MAG470

        MAG470擴展

        磁屏蔽
        351-023
        351-023

        規格



         MAG470                                                                       MAG470擴展

        測量范圍(空氣,氮氣)
        mbar (Torr)
        5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3)
        精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar
        %
        ≈±30%
        重復性1×10 -9…1×10 -3mbar
        %
        ≈±5%
        安裝方位

        不限
        容許壓力
        Bar(絕對)
        ≤10(限于惰性氣體)
        容許溫度
        操作(環境)
        儲存
        輸出

        °C
        °C
        °C

        +5 … +55
        –40 … +65
        2501)(擴展版 2)
        電源電壓
        標準
        較大供電量 3
        電壓頻率

        V (dc)
        V (dc)
        Vpp

        +15…+30
        +16…+30
        ≤1
        耗電量
        W
        ≤2
        保險絲連接
        AT
        ≤1
        輸出信號(測量信號)
        電壓范圍
        測量范圍

        V
        V

        0…+10.5
        +1.96…+8.6
        相對壓力
        誤差

        V
        對數, 0.8 V/decade
        <0.5 (無供應)
        輸出電阻
        較小負載電阻
        Ω

        2 × 10
        10、防短路
        響應時間
        p>10-6mbar
        p=10-8mbar

        MS
        MS

        <10
        ≈1000
        識別量規

        7.15,供參考使用
        電氣連接
        傳感器電纜
        電纜長度


        M
        FCC 68電器連接器,8極,內螺紋
        8極加屏蔽
        ≤50(8×0.14mm2)
        工作電壓
        工作電流
        kV
        μA
        ≤3.3
        ≤100
        暴露于真空中的材料

        不銹鋼,氧化鋁,銀,
        內部容積
        cm 3
        ≈20
        重量
        DN 40 CF-F

        g

        ≈950≈1100
        保護類別

        IP 40
        標準

        EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

        1)無電子和磁屏蔽

        2)規定區域內250°C,見尺寸

        3)電源單元的較小電壓必須與傳感器電纜的長度成比例地增加

        尺寸資料


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