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        61.6 真空蝶形控制和隔離閥

        快速的下游壓力控制和隔離

        61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。憑借其快速而精確的動作控制器(0.45秒),它是CVD工藝中精細控制和隔離的完美解決方案。蝶板作為一個節流元件,改變了閥口的傳導性。61.6的集成壓力控制器計算出所需的板塊位置,以盡可能快地達到設定的壓力。

        61.6系列的隔離功能是專門為避免蝶閥特有的較高的密封磨損而設計的。通過它的中心外板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀,密封摩擦降到較低,密封性能得到提高。

        61.6系列已經安裝在數以千計的各種工藝條件下的苛刻應用中,已經證明了其出色的可靠性。61.6系列具有堅固的設計和直接安裝選項,以及減少和方便的維護,在所有方面都表現優異。

        本體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應、固定PI下流/軟泵)方面的各種設計選項簡化了61.6系列與各種真空應用的整合。

        優點

        卓越的壓力控制和隔離

        運行非???/p>

        板載軟件,用于本地運行

        惡劣工藝條件下可實現可靠運行

        工藝可控性更好

        正常運行時間長/性能不受限

        運行成本低

        技術規格



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