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        61.3 蝶形控制閥

        快速且精準的下游壓力控制

        61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節流元件,改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置,以盡快實現設定壓力。

        該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑,61.3 蝶形控制閥仍能夠保持完全正常運行。

        61.3 系列已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其卓越的可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項,以及簡單且輕松的維護,61.3 系列在各個方面都令人信服。

        閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應、固定 PI 下游/軟抽)方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。

        優點

        卓越的壓力控制

        運行非???/p>

        板載軟件,用于本地運行

        惡劣工藝條件下可實現可靠運行

        工藝可控性更好

        正常運行時間長/性能不受限

        運行成本低

        技術規格



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