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        分子泵應用及故障處理

        分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞,提高泵的抽氣效果。

        由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,致使反流增加,抽氣能力下降。

        一、工作條件

        轉子轉速達到20000r/min,故分子泵啟動時間較長。

        氣體處于分子流狀態,故需要配備前級泵,一般使用旋片泵作為前級泵。

        二、特點

        油潤滑分子泵:潤滑油量小,且在前級真空段,對真空室污染小。

        脂潤滑分子泵:油脂量極小,前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

        全磁懸浮分子泵:無須潤滑,與干泵一起使用,可獲得無油的清潔真空環境。

        三、其他常見應用

        分析(質譜分析、電子顯微鏡等)

        半導體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

        光學/玻璃(熱保護、增透、反射、光學濾光膜)

        鍍膜(表面保護、裝飾涂料、顯示器、屏幕)

        真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結、真空合金)

        泄露檢測(真空系統、車輛的油箱、安全氣囊)

        研究實驗(醫學核磁共振成像、核粒子物理、核聚變研究,激光應用和許多更多)

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        四、分子泵故障處理

        1、分子泵為何會發生半邊熱,半邊冷的現象?

        原因:附近有光照或其他熱源

        解決方法:避免光照或熱源

        2、分子泵使用中發生油發黑,請問油為什么發黑?或者多長時間油才會變黑?

        原因:冷卻不良,負載太大

        解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統

        3、分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋?

        原因:負載太大,系統真空度不夠

        解決方法:檢查系統

        4、分子泵軸承為什么會燒毀

        原因:①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

        解決方法:①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵

        5、有防護網保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內?

        原因:防護網破裂,前級管道破裂

        解決方法:優化系統設計

        6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?

        原因:油池破裂或密封不良

        解決方法:檢查油池

        7、正常使用下,為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形

        原因:過熱、負載大

        解決措施:檢查冷卻系,檢查系統

        8、分子泵中經常掉出頂絲、螺釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?

        原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。

        解決方式:應是偶爾發生的事情,可能隨時平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。

        9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全?

        答:不作特殊限定,至少3個,按照法蘭大小可選3、6、12、24等

        10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂?

        答:①電壓不穩②強干擾③高壓打火④人為解密

        11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?

        答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要專用儀器和特定的測試環境

        12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現何后果?

        答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導致無故停機,碎泵、油變黑等。

        13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應如何做才是較佳的方式?

        答:電源本身有接地線,只需要保證市網有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

        14、變頻器電源,轉速上升過程中就自動關機,即顯示“Poff”?

        答:原因:電壓低

        15、分子泵葉片破碎的原因:

        答:造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點:

        ①誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質比較薄,或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。

        ②是異物掉入:沒有安裝過濾網肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝,避免異物掉入。

        ③電壓的不穩定,特別對磁浮類的分子泵損失較大。

        ④前級泵的效率差:我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。

        ⑤分子泵保養時的動平衡沒有做好,這是技術的關鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。

        ⑥軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。



                                                                                                                                                                                                                                                                                                 






        來源:真空行業知識圈



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