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        OPG550光學等離子體真空計


        INFICON Augent?光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監測解決方案。體積小巧的Augent?集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監測時,壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴;總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent?自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器,當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。

        在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內,該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。

        特點

        高速檢漏,可進行試驗箱泄漏檢查

        提高生產率和產量

        使用壽命長,燈絲不易燒毀,防空氣侵入

        耐過程化學腐蝕

        采用智能算法,易于集成

        結構緊湊,空間占用小

        啟動快速可靠

        應用范圍

        試驗箱泄漏檢查,提供更快的RoR (上升速率)試驗速度

        進行泄漏檢查,以查找供氣管路的內部泄漏

        實時端點控制

        氣體類型和濃度控制

        技術規格


        型號
                                                                               OPG550
        測量范圍N2
        毫巴(托)
        1 × 10-7 ... 5 (7.6 10-8 ... 3.8)
        檢測限制25升試驗箱
        壓力上升方法中的O2泄漏
        毫托/分鐘
        ≥0.3
        N2回填抽空期間的O2泄漏
        毫托/分鐘
        ≥1
        N2總壓讀數精度
        1 × 10-7 ... 100毫巴
        讀數%
        5
        壓力
        限于惰性氣體<50°C
        巴(絕對)
        ≤10
        溫度
        運行(環境)

        +5 ... +50
        存儲

        -20 ... +70
        在法蘭處烘烤,帶電子單元

        ≤80
        在法蘭處烘烤,不帶電子單元

        ≤120
        一年30天的相對濕度
        %
        ≤95 (不凝結)
        電源電壓
        真空計處
        伏(直流)
        +14.5 ... +30
        波紋電壓
        V(p-p)
        ≤1
        功耗
        W
        ≤5
        待接保險絲
        AT
        ≤1
        輸出信號
        模擬
        伏(直流)
        0 ... +10
        數字

        RS232C
        電氣連接
                                                                             D-Sub,9針,公頭
        高壓(在測量室)
        點火電壓
        千伏
        ≤4.5
        運行電壓
        千伏
        ≤3.3
        暴露于真空的材料
        一般
                                                                             AI2O3、不銹鋼1.4435
        陽極
                                                                             鉬
        電離室
                                                                              鈦、不銹鋼1.4016
        點火輔助裝置
                                                                              不銹鋼1.4310
        真空法蘭
                                                                               DN16 ISO-KF
                                                                               DN25 ISO-KF
                                                                               DN16 CF-R


        8VCR,母頭
        內部容積
        立方厘米(立方英寸)
        ≤20 (1.22)
        重量

        ≤700
        尺寸
        占用空間
        毫米
        68×68
        高度
        毫米
        < 137
        防護等級
                                                                              IP40
        標準
                                                                               CE

        訂購資料

        替換傳感器
        OPG550
        DN 16 ISO-KF
        351-590
        DN 16 CF-R
        351-591
        DN 25 ISO-KF
        351-592
        8VCR,母頭
        351-593


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