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        成都四洋科技有限公司官方網站

        電容膜片真空計

        帶EtherCAT的Edge  CDG025D2

        INFICON帶EtherCAT的溫度補償型Edge CDG025D2電容膜片真空計是專為惡劣制造環境設計的高精度真空測量儀器。

        成熟的溫度補償、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供量程穩定性,而且具有零位穩定性。Edge隨附INFICON傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節,另外還配有EtherCAT現場總線接口。

        特點

        易于集成,EtherCAT,各種滿刻度和法蘭,標配兩個設定點

        輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移

        診斷端口用于快速維修和維護

        防腐陶瓷傳感器

        卓越的長期信號穩定性

        溫度補償

        傳感器防污染保護

        合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

        應用

        用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設備

        數據存儲及顯示制造設備

        工業真空設備

        常規高精度壓力測量

        技術規格(基于Torr的標準產品)

















        測量范圍

        1000
        500 ... 10
        1
        0.25
        0.1
        FS (滿刻度)

        133,322
        66,661 ...
        1333
        33.3
        13

        毫巴
        1333
        1,333
        1.3
        0.33
        0.13



        66.7 ... 13.3



        精度1)
        讀數%
        0.2
        0.2
        0.2
        0.25
        0.5
        溫度效應
        零點
        %FS/°C
        0.005
        0.005
        0.015
        0.02
        0.02
        滿量程
        讀數% / °C
        0.01
        0.01
        0.01
        0.03
        0.03
        較大壓力
        千帕(絕對)
        400
        260
        260
        130
        130
        分辨率
        % FS


        0.003



        較低讀數
        % FS


        0.01



        建議的較低讀數
        % FS


        0.05



        建議的較低控制壓力
        % FS


        0.5




        溫度
        傳感器



        25



        運行(環境)



        +5 ... +50



        在法蘭處烘烤



        ≤110



        存儲



        –20 ... +65



        電源電壓
                                                                     +14 ... +30伏(直流)或±15伏(±5%)
        功耗
        運行溫度
        W


        < 3瓦



        輸出信號(模擬)
        伏(直流)


        0 ... +10



        響應時間2)
        毫秒

        30

        130
        130/303)
        防護等級



        IP 40



        標準
        CE符合性
                                                               EN 61000-6-2/-6-3、EN 61010和RoHS
        ETL認證
                                                                   UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1
        SEMI合規性
                                                                                     SEMI S2
        電氣連接
                                                                             D-sub,15極,公頭
        設定值

        設定點數量
                                                                              2 (SP1、SP2)
        繼電器觸點
        伏(直流)/安(直流)
                                                                 ≤30 / ≤0.5
        滯后

        % F.S.
                                                                         1
        診斷端口
        協議
                                                                                       RS232-C

                                                                                   壓力、狀態、ID
        設置
                                                設定點、過濾器、調零、出廠設置復位、直流偏置
        暴露于真空的材料
                                                        氧化鋁陶瓷(AI2O3)、不銹鋼(AISI 316L4))
        內部容積
        1/2英寸管
        立方厘米(立方英寸)


        4.2 (0.26)



        DN 16 ISO-KF
        立方厘米(立                                                         4.2 (0.26)
                                                                                   
        方英寸)                                                               4.2 (0.26)

                     4.2 (0.26)

        DN 16 CF-R
        8 VCR?

                                立方厘米(立

                                   方英寸)

                               立方厘米(立

                               方英寸)

        重量
        1/2英寸管

        837

        DN 16 ISO-KF

        852

        DN 16 CF-R

        875

        8 VCR?

        897

        1)在25°C環境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性,運行兩小時后無溫度效應

        2)增加10 ... 90% FS

        3)僅適用于壓力控制類型

        4)18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

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