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        JEOL電子槍/電源介紹

        電子槍/電源的構成


        電子槍動作原理

        電子槍是加速電子轟擊靶屏發光的一種裝置,它發射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的電子束。(該電子束的方向和強度可以控制,通常由熱陰極、控制電極和若干加速陽極等組成)電子槍用來提供電子束,并轟擊熒光屏形成不同灰度等級的圖像。

        燈絲在通電流后會加熱,產生熱電子。

        這些熱電子在加速電壓作用下加速。(在燈絲—陽極間)加速脫離燈絲的熱電子在偏向磁場(永久磁場or電磁鐵)作用下進行偏轉、對坩堝內的蒸鍍材料進行照射。


        電子槍構造

         

        電子束轉向方法=利用磁場    電子束掃描方法=利用磁場



        JEOL電子槍·電源的特長

        能量分布均勻的圓型電子束光斑

        電子束的垂直入射性出色→適合氧化物·升華物材料

        高速掃描→能得到平坦良好的熔跡

        低真空動作安定→電子槍的構造能實現在低真空的動作安定

        優異的放電抑制電子回路能幫助實現安定的蒸鍍

        電子槍燈絲

        渦旋形燈絲

        因為燈絲上流有負的高壓電、再加上電場的關系,呈正極的離子會通過陽極中央對燈絲的中央附近進行攻擊。這些沖擊會造成燈絲斷線。

        長壽命燈絲

        這種燈絲、為了避免離子的攻擊,呈U字形的形狀。離子會被中央部的輔助電極所吸引。

        EB電源的各機能


        操作盤

        操作盤的外部制御(信號輸入和輸出)


        如何穩定使用電子槍

        不穩定的主要原因

        1、壓力上升

        ①蒸鍍材料的放出氣體

        ②排氣能力的低下

        ③構造物中的滯留氣體的大量放出

        ④真空裝置內部的污染

        2、絕緣距離低下(高電壓部)

        ①高電壓部絕緣陶瓷的污染      ②突出物(蒸鍍垃圾等)


        電子槍磁場環境的注意點

        不要把高磁場導率物質或磁性物放在電子槍周圍,有可能影響電子槍的性能

        使用電子束對高磁導率蒸鍍材料進行照射的時候,隨溫度的變化電子束位置也會發生變化



                                                                                                                                                                                                                                                                                                 






        來源:鍍膜行業交流

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